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Verätzt, beschossen und geschrubbt: Zu Besuch in der Dresdner Globalfoundries-Fabrik

Verätzt, beschossen und geschrubbt: Zu Besuch in der Dresdner Globalfoundries-Fabrik

Gelb schimmert uns das ewige Licht der Lithografie von der anderen Seite der Reinraumbrücke entgegen. Ein Licht, das nie verlischt: Die Chipfabrik von Globalfoundries im Dresdner Norden schläft nie.

In rollender Woche spuckt sie Tausende, Millionen Prozessoren aus, die später in PCs, Handys und anderen wundersamen Gerätschaften verbaut werden. Etwa 3850 Menschen arbeiten hier und ein paar kommen uns gerade entgegen: Vermummt bis auf die Augen in ihren blauen und weißen Reinraum-Anzügen, die sie intern scherzhaft "Bunny Suits" nennen.

Die haben jetzt das Gleiche vor sich, wie ich es eben durchgemacht habe - nur schneller und in umgekehrter Reihenfolge: Bis auf die Unterwäsche ausziehen, eine Art Trainigsanzug an, Gamaschen über die Füße, durch Desinfektionen, Klebematten und Schleusen hindurch, in genau festgelegter Reihenfolge Reinraumanzug, Kapuze, Mundschutz und Sauberschuhe an... Etwa eine halbe Stunde hat es gedauert, bis ich mich in Schale für den Reinraum geworfen habe. So genau kann ich das nicht mal sagen: Sogar meine Uhr musste ich zurücklassen - viel zu dreckig für die Chipproduktion, in der wenige eingeschleppte Staubteilchen reichen, um ganze Chip-Siliziumscheiben (Wafer) im Wert eines Mittelklasse-Wagens zu ruinieren.

Chip-Scheiben düsen per Automaten-Expressdurch die Fabrik

"Wuuubbb" sirrt es von oben, kaum dass wir die Schleuse zum Allerheiligsten, der Belichtungsabteilung (Lithografie) passiert haben. Oben pfeift ein schwarzer Kasten in der Größe eines Kinderwagens vorbei. Die sogenannten FOUPs ("Front Opening Universal Pod") tragen bis zu 25 Chip-Wafer, schleppen also mit jedem Transport etwa den Wert eines Eigenheims durch die riesige Fabrik, die ein 19 Kilometer langes Hightech-Schienensystem unter der Decke durchzieht. Sogar einen eigenen "Rangierbahnhof" gibt es für die insgesamt 650 Automatenwaggons. Im Eiltempo schleppen diese Kisten die Wafer von einem Prozessschritt zu anderen. Und das können - je nach Chip-Art - Hunderte Schritte sein. Viele andere Chipfabrik-Manager weltweit beneiden die Dresdner um dieses Murata-Transportsystem und den hohen Automatisierungsgrad hier. Denn selbst Be- und Entladung der Transporter und Anlagen geschehen von Roboterhand. "Und da darf nicht der kleinste Fussel am Roboter dran sein - das würde einen katastrophalen Kratzer auf dem Wafer hinterlassen", erklärt mir mein Reinraum-Führer Dr. Wolfgang Lippik.

Mehrere Millionen Euro Investition -pro Anlage!

Ein wenig fühle ich mich an Science-Fiction-Filme erinnert, während er mich weiterführt. Und diesen Eindruck bestärken nicht nur die vielen Roboter: In schier endlosen Gängen ist Anlage an Anlage aneinandergereiht, von denen jede irgendwas zwischen 20 und 40 Millionen Euro gekos-tet hat. Kein Wunder, dass weltweit immer weniger Mikroelektronik-Konzerne im Wettlauf um immer modernere Chipwerke mithalten können: Großfabriken (Mega-Fabs) wie die von GF in Dresden kosten mittlerweile mehrere Milliarden Euro.

Zwischen all diesen sauteuren Maschinen tippen, stellen und regeln lässig zurückgelehnte Vermummte an Computern herum, drehen Mausbälle. Einige haben sich Kopfhörer aufgesetzt, was dem Ganzen den Anstrich eines Kommandozentrums oder eines riesigen U-Boots im Gefechtszustandes gibt. Nur dass das Licht hier eben nicht rot, sondern gelb ist: Tageslicht würde die komplizierten Bestrahlungsschritte, mit denen die Strukturen auf den mit Foto-Lacken beschichten Wafern erzeugt werden, zunichte machen.

Gottlob haben sich andere Anlagen hier nicht so etepetete mit Tageslicht, wie ich in den anderen Abteilungen sehe. Sind die gewünschten Chipstrukturen per Maskenbelichtung in der Lithografie im Lack eingebrannt, schwemmen Trocken-Ätzbäder diese fixierten Linien und Schaltbilder weg. Dann werden die Wafer mit Atomen und Verbindungen aus Kupfer, Titan, Wolfram oder anderen Elementen beschossen, bis an den richtigen Stellen Leiterbahnen, Minischalter und andere Bauelemente entstanden sind.

Schicht um Schicht erhaltendie Chips ihre Struktur

Und so geht es Schicht auf Schicht - und zwischendurch wird richtig geschrubbt. Das kann man in der Polierabteilung sehen, deren Anlagen zu den wenigen hier gehören, in die man hineinschauen kann. Auch hier überneh-men Roboter die ganze "Drecksarbeit", ziehen sanft die Siliziumscheiben aus den FOUP-Waggons, drehen sie wie eine Schallplatte, während eine Spe-zialpaste alle Unebenheiten wegpoliert. "Das muss sehr genau geschehen", betont Standort-Sprecherin Karin Raths. "Wenn so ein Wafer die Größe Dresdens hät-te, müssten sie die Stadt bis auf zwei Millimeter genau eineb-nen."

An der Kette vom Sand zum Chip hängen viele Tausend Jobs weltweit

Sind alle Schichten aufgebracht und alle Schaltelemente - von denen die kleinsten nur wenige Millionstel Millimeter (Nanometer) klein sind - erzeugt, werden die Wafer luftdicht verpackt und treten ihren Weg zu den sogenannten "Backend"-Fabriken in Asien an. Dort werden die Scheiben dann zu einzelnen Prozessoren zersägt, mit Kontakten und Gehäusen versehen und schließlich den Auftraggebern überreicht - die daraus Notebooks, Computertelefone, Fernseher und andere Elektronikgeräte bauen, die dann irgendwann bei uns im Wohnzimmer landen. Insofern sind all die tage- oder oft sogar wochenlange Prozesse im Dresdner GF-Werk zwar das Herzstück, aber eben nur ein Teil einer langen, langen Kette vom Siliziumsand bis zur fertigen Heimelektronik, an der viele Tausend Arbeitsplätze rund um den Erdball hängen.

Doch schon allein der Marsch durch den Teil, der die Dresdner Fabrik ausmacht, hat mich fußlahm gemacht. Ich bin heilfroh, als wir wieder in der Umkleide sind, ich meine Uhr und meine Zigaretten wiederhabe - Rauchen ist im Reinraum natürlich strengstens verboten - und endlich wieder die Sonne da draußen sehe. Wäre da nicht dieses irritierende Geräusch: Pfeift hier etwa der Wind durch die Hütte? "Das ist ein menschengemachter Wind", erklärt mir Dr. Lippik, während wir wieder ins "Zivil" schlüpfen: Damit sich bloß kein Fussel oder Staubkorn ins Werk einschmuggelt, steht der gesamte Reinraum unter Überdruck - und pustet nach draußen. "Das pfeift manchmal."

@Mehr Informationen, Fotos und Videos im Internet: computer-oiger.de

Heiko Weckbrodt

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